ガラスウェーハ

ガラスウェーハ

ウェーハガラス製品の特徴:優れた耐熱性と耐光性、優れた化学的特性、優れた表面精度と見かけの品質により、マイクロオプティクス、MEMS、ウェーハパッケージング、その他多くの顧客指定アプリケーションで広く使用されている高屈折率ガラスウェーハ製品を提供できます。 さまざまな厚さとサイズは、厳しい厚さと寸法公差でカスタマイズできます

ガラスウェーハの技術的パラメータ:

材料:コーニング、石英ガラス、B270、D263T、AF32、BK-7

標準的な厚さ: 0.5んん, 0.7んん, 1.0んん, 1.2んん, 1.5んん (厚さ公差±0.02んん)

標準サイズ:Φ4インチ、Φ6インチ、Φ8インチ、Φ12インチ(他のサイズはカスタマイズ可能)

表面粗さ(Ra) < 1.5nm

平行度<0.01ミリメートル

各エッジは鈍い C0.05~0.2mm

TTV/平坦度 <0.005

船首/反り <0.01

ワープ/フレックス <0.01

引き裂き<0.2mm、内部亀裂なし

表面はきれいで、特別な箱に詰められたきれいな作業台の下に詰められた跡や汚れがあってはいけません。