光学晶圆玻璃

晶圆玻璃产品特点：具有出色的耐热透光性能，以及良好的化学性能，具有良好的的面型精度及表观质量，可提供高折射率玻璃晶圆产品，广泛应用于微光学、MEMS、晶片封装以及许多其它客户指定应用场景中。可定制各厚度及尺寸，厚度及尺寸公差小

玻璃晶圆技术参数：

材料：康宁、石英玻璃、B270、D263T、AF32、BK-7

标准厚度： 0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.2mm、1.5mm（厚度公差±0.02mm）

标准尺寸：Φ4"、Φ6"、Φ8"、Φ12"（其他尺寸可定制）

表面粗糙度(Ra)<1.5nm

平行度<0.01mm

各棱边倒钝C0.05～0.2mm

TTV/平整度     <0.005

Bow/翘曲度    <0.01

Warp/弯曲度   <0.01

裂口<0.2mm，不可内裂

表面清洁，不得有印记和污点，在洁净工作台下包装，用专用盒子包装。